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中科飞测“转换关系获取方法、检测方法和相关设备”专利公布

编辑： 发表于：2025-05-13 来源：半导体产业网

 天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司“转换关系获取方法、检测方法和相关设备”专利公布，申请公布日为2025年2月14日，申请公布号为CN119413092A。

一种转换关系获取方法、检测方法和相关设备，所述转换关系获取方法包括：提供探测部件，探测部件能够绕预设的旋转轴进行旋转；提供标定物，标定物具有特征点；在探测部件绕旋转轴旋转之前，通过探测部件对标定物进行检测，获取特征点在第一坐标系下的第一特征点坐标；在探测部件绕旋转轴旋转之后，通过探测部件对标定物进行检测，获取特征点在第一坐标系下的第二特征点坐标；根据第二特征点坐标，获取探测部件绕旋转轴的旋转角度；根据旋转角度对第二特征点坐标进行矫正，获取特征点在预设的第二坐标系下的第三特征点坐标；根据第一特征点坐标与第三特征点坐标，获取第一坐标系与第二坐标系之间的转换关系。本发明技术方案能够提高检测精度。

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