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微环控半导体装备微环境控制研发总部基地等项目签约落地武汉光谷

 11月15日,华中科技大学第十七届企业家(武汉)大会在光谷举办,来自全国各地的华科大校友及师生代表共1500余人参会。会上,36个由华科大校友企业投资及合作的项目签约,签约金额达150亿元,其中8个项目落户光谷,投资金额超80亿元。

据悉,此次签约落户光谷的项目包括华云智慧全国总部、华威科柔性智能传感研发与中试基地、微环控半导体装备微环境控制研发总部基地等,主要面向人工智能、集成电路等领域,研发“光芯屏端网”新一代信息技术。

武汉微环控技术有限公司创始人、华中科技大学教授李小平表示:“早在20年前,团队便着手为高端集成电路装备开发微环境控制技术。2021年,立足光谷扎实的集成电路产业基础,我们在当地成立公司推进成果转化,业务订单稳步增加。待研发总部基地于明年建成投用后,公司有望实现年销售额超亿元。”

据悉,柔性智能传感技术作为人机交互领域的核心关键技术,在机器人智能化操作、汽车智能感知、3C家电创新交互等方面具有广阔应用前景。作为湖北省在柔性智能感知领域的代表性企业。目前,华威科的柔性感知技术已在能源、智能汽车、工业智造、智能家居、医疗康养等多个领域实现应用落地,展现出广泛的技术适应性与产业价值。

武汉微环控技术有限公司今年9月完成了Pre-A轮数千万元融资,这是该公司继天使轮后的第二轮融资,所获资金将重点用于新技术研发与产品产能扩张。该公司已成功推出国内首台专为电子束光刻机配套的电磁屏蔽微环控系统,并为国产某型号前道光刻机研发了完整的微环控系统。面向光刻机、涂胶显影、量测、键合、光学检测等顶尖设备与仪器,可提供成套微环控系统与系列产品配套,可实现气温稳定性±5mK,液温和固温稳定性±1mK,湿度稳定性±0.4%RH,气压稳定性±1Pa,电磁屏蔽磁场波动30nT,洁净度ISO Class1。

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