9月26-28日,“2025新一代半导体晶体材料技术及应用大会”将于云南昆明举办。届时,南京大学教授修向前受邀将出席会议,并带来《氮化镓衬底生长工艺及设备技术研究》的主题报告,敬请关注!
嘉宾简介
修向前,南京大学电子科学与工程学院教授、博士生导师,国家重点研发计划项目首席科学家。长期从事宽禁带半导体衬底材料与器件、生长装备以及大尺寸半导体单晶激光切片技术等方面的研究
报告前瞻
报告题目:氮化镓衬底生长工艺及设备技术研究
报告摘要:宽禁带半导体氮化镓具有优异的物理和化学特性,被广泛研究和应用于光电和功率电子器件及紫外探测器件等。氮化镓单晶是制备高性能器件最理想的衬底材料。本报告系统介绍了卤化物气相外延(HVPE)制备高质量GaN衬底的关键技术及发展趋势。
附会议信息:
【会议时间】 2025年9月26-28日
【会议地点】云南·昆明
【指导单位】
第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)
中关村半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)
【主办单位】
云南临沧鑫圆锗业股份有限公司
极智半导体产业网(www.casmita.com)
半导体照明网(www.china-led.net)
第三代半导体产业
【承办单位】
云南鑫耀半导体材料有限公司
北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司
【支持单位】
赛迪智库集成电路研究所
中国科学院半导体研究所
云南大学
山东大学
云南师范大学
昆明理工大学
晶体材料全国重点实验室
.....
【关键材料】
1、锗、硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料生长与加工关键技术、器件工艺及应用研究;
2、氮化镓、碳化硅等第三代半导体材料生长与加工关键技术、器件工艺及应用研究;
3、氮化铝、金刚石、氧化镓等超宽禁带半导体材料生长与加工关键技术、器件工艺及应用研究;
【主要方向】
1.化合物半导体单晶与外延材料
(砷化镓,磷化铟,氮化镓,碳化硅,氮化铝,氧化镓,氮化硼,蓝宝石,铌酸锂等晶体、外延生长及模拟设计等)
2. 硅、高纯锗及锗基材料
(大硅片生长及及应用,直拉法或区熔法等单晶生长,原料提纯,GeSi、GeSn、GeC 等多元单晶薄膜,切片与机械抛光,掺杂调控离子注入等)
3.高纯金属、原辅料制备及晶体外延生长与加工关键装备
(高纯前驱体,高纯试剂,高纯气体,高纯粉体, 长晶炉,MOCVD, MBE, LPE,PVT 等外延生长装备,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及抛光设备与材料,检测设备等)
4.测试评价及AI for Science
(AI 驱动的测试评价革新, 缺陷工程与掺杂策略、晶体生长智能调控、缺陷实时检测与修复,多尺度建模,绿色制造优化 等)
5.光电子器件工艺与应用
(发光二极管,激光二极管,光电探测器件,太阳能电池,照明与显示,激光雷达,光通信,量子技术等)
6.通讯射频器件工艺与应用
(功率放大器,低噪声放大器,滤波器,开关器件,移动通信,卫星通信,低空飞行器,无人机,射频能量等)
7.能源电子及应用
(风电&光伏&储能新能源,电动汽车,数据中心,工业电源,电机节能,轨道交通,智能电网,航空航天,工业控制,变频家电,消费电子,仪器仪表等)
8.绿色厂务及质量管控
(洁净厂房,高纯水制备,化学品供应,特气供应,废气处理及排放,废液处理,大宗气体供应及质量管控等)
【程序委员会】
大会主席:惠峰 (云南锗业)
副主席:陈秀芳(山东大学)、赵璐冰(CASA)
委员:赵德刚(中科院半导体所)、康俊勇(厦门大学)、 徐宝强(昆明理工)、皮孝东(浙江大学)、耿博(CASA)、王军喜(中科院半导体所)、孙钱(中科院苏州纳米所)、王垚浩(南砂晶圆)、 涂洁磊(云师大)、王宏兴(西交大)、彭燕(山东大学)、李强(西交大)、宁静(西电)、修向前(南京大学)、郭杰(云师大)、王茺(云南大学)、邱峰(云南大学)、杨杰(云南大学)、谢自力(南京大学)、葛振华(昆明理工大学)、田阳(昆明理工大学)、魏同波(中科院半导体所)、许福军(北京大学)、徐明升(山东大学)、孙海定(中国科学技术大学)、田朋飞(复旦大学)、刘玉怀(郑州大学)、朱振(浪潮华光)、杨晓光(中科院半导体所)、高娜(厦门大学)、陈飞宏(云南锗业)、康森(天通控股)、解楠(赛迪研究院 )、房玉龙(中电科十三所)、邓家云(昆明理工大学)、李宝学(云锗红外) ......等
【日程安排】
【活动参与】
1、注册费:会议通票2800元;早鸟票:9月20日前注册报名2600元;(含会议资料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。
2、缴费方式:
①银行汇款
开户行:中国银行北京科技会展中心支行
账 号:336 356 029 261
名 称:北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司
②在线注册
扫码注册报名
③现场缴费(微信+支付宝)
【论文投稿及报告咨询】
贾老师:18310277858,jiaxl@casmita.com
李老师:18601994986,linan@casmita.com
【参会参展及商务合作】
贾先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
张女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【会议酒店】
酒店名称:昆明亿壕城堡温德姆至尊酒店
酒店地址:中国(云南)自由贸易试验区昆明片区经开区枫丹白露花园
协议价格:430元/晚(含双早)
酒店预定联系: 陈经理,13759452505(微信同号)
邮箱:13759452505@139.com