证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体结构及其制作方法”,专利申请号为CN202510153323.2,授权日为2025年5月27日。
专利摘要:本公开涉及一种半导体结构及其制作方法,在第一沟槽的底部形成第一掺杂区之后,在第一掺杂区上形成具有倾斜侧壁的第一填充层,倾斜侧壁从第一沟槽的槽口向槽底逐渐延伸,向倾斜侧壁注入第一离子,在倾斜侧壁形成第二掺杂区,第二掺杂区从第一沟槽的槽口向槽底逐渐延伸,然后沉积第二填充层覆盖第二掺杂区并填充第一沟槽,在第二填充层的顶部形成第三掺杂区,然后热退火将第一掺杂区、第二掺杂区、第三掺杂区的第一离子向第一填充层、第二填充层中推进扩散,以在第一沟槽中形成半导体掺杂层,第二掺杂区增加了第一离子的扩散均匀性,半导体掺杂层的第一离子均匀分布,半导体掺杂层的整体电阻小,半导体结构的电性能更好。
今年以来晶合集成新获得专利授权150个,较去年同期增加了7.14%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。
数据来源:天眼查APP