近日,年度国际第三代半导体行业盛会——第十一届国际第三代半导体论坛&第二十二届中国国际半导体照明论坛(IFWS&SSLCHINA 2025)在厦门隆重召开,本届论坛由第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)、中关村半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)、厦门大学(XMU)共同主办,以“链通全球·芯动未来”为主题,汇聚全球顶级精英,技术与产业并举,全面覆盖半导体照明和第三代半导体及相关领域的前沿热点、技术应用与产业趋势。

期间,在“氮化镓功率电子器件技术”分论坛上,中国科学院近代物理研究所副研究员胡培培做了“GaN材料及器件重离子辐照效应研究进展”的主题报告,分享了GaN材料辐照损伤研究、GaN器件单粒子效应研究成果。
基于GaN制备的高频、高压、宽带的微波器件和功率器件,能够满足雷达探测、卫星通讯、电源推进器等空间电子系统对器件高频、高功率和小体积的要求。GaN器件空间应用需求广泛,但器件对辐射环境比较敏感,辐射损伤机理不清晰,缺乏有效的加固手段,导致空间应用受阻。高能离子辐照引起器件材料结构损伤会导致宏观性能退化甚至失效,中、高能重离子与材料相互作用,电子能损起主导作用。


报告中详细分享了GaN材料潜径迹形成研究、GaN器件单粒子效应研究等成果,研究获得了潜径迹形成的电子能损阈值,为器件抗辐射评估提供了理论依据。首次在GaN器件中观察到气泡状潜径迹,为器件失效分析拓展了新思路。研究显示,高温和高场是引发单粒子烧毁的主要诱因,分散敏感区电场是抗辐射加固的核心 。

报告指出,重离子辐照后GaN材料中潜径迹形成,引起器件电学性能退化甚至失效。“热”烧毁和“电”击穿两种单粒子烧毁机制中,器件结构起主导作用。对于器件加固措施建议:采用P型栅设计,弱化沟道电场;电极场板结构设计,分散电场分布;探索高K介电材料,防止介电击穿;采用高熔点的电极材料,防止热烧毁;提高器件的散热能力,防止热烧毁。
(根据现场资料整理,仅供参考)
