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甬江实验室微纳平台8英寸验证线正式通线

11月18日,甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台(以下简称:微纳平台)的8英寸验证线正式通线。这一重要进展,标志着甬江实验室已建成目前国内领先、国际一流的全链条异质异构集成共享平台。

公开消息显示,微纳平台是甬江实验室在电子信息材料与器件领域布局建设的重要公共科研支撑服务平台。该平台聚焦“芯片异构集成”与“微纳光学”两大方向,围绕高速通讯、元宇宙、自动驾驶和智能机器人等未来产业所需的核心半导体制造技术,提供从光电芯片材料生长、器件制备、模组开发到检测验证全流程前沿工艺技术开发,以及先进的验证手段和系统的解决方案。

宁波经信消息显示,微纳平台占地12000平方米,其中洁净室面积6000平方米,已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条,配备165台(套)高端精密设备。8英寸验证线的开通,“不仅是从‘6英寸’到‘8英寸’的尺寸升级,更是从‘概念验证’到‘工程验证’的能力跃迁。”甬江实验室主任崔平说,这标志着微纳平台体系化能力的正式形成。

目前,微纳平台已构建一个开放共享的基础设施、一个中立可信的赋能平台、一个链接产学研用的创新枢纽。今后将与企业共同探索从中试走向量产的可行路径,为产业提供最需要、最关键的临门一脚。

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