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华海清科首台12英寸低温离子注入机成功出机

编辑： 发表于：2025-07-16 来源：半导体产业网

 7月14日，华海清科股份有限公司全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机，并发往国内逻辑芯片制造领域的龙头企业。

华海清科实现了面向先进制程芯片制造的大束流离子注入机各型号的全覆盖。离子注入装备是集成电路制造前道工艺的关键装备，技术壁垒极高，国内集成电路制造企业长期以来主要依赖进口装备，国产替代空间巨大。

目前，华海清科已推出大束流离子注入机系列装备，并积极布局中束流离子注入机及高能离子注入机等系列装备。

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